A speciális gázok tiszta gázok, nagy-tisztaságú gázok vagy nagy-tisztaságú alapgázok kettős vagy több-komponensű keverékei, amelyek meghatározott tisztasági, összetételű vagy teljesítménykövetelményekkel rendelkeznek, és amelyeket meghatározott területeken alkalmaznak.
Meghatározás: A speciális gázokra szigorú követelmények vonatkoznak a tisztaságra, a szennyeződéstartalomra, a stabilitásra és egyéb mutatókra. Általában speciális eljárásokkal (például kriogén desztillációval, adszorpcióval, membránszeparációval stb.) készülnek, hogy megfeleljenek a precíziós gyártás vagy a tudományos kutatás igényeinek.
Osztályozás: Elektronikus gázok: A félvezető-, kijelzőpanel- és más elektronikai iparágakban használatosak, például szilán, nagy-tisztaságú ammónia és kén-hexafluorid, amelyek rendkívül nagy tisztaságot és részecskeméretet igényelnek.
Nagy-tisztaságú gázok: 99,999%-os vagy nagyobb tisztaságú gázok, például nagy-tisztaságú hidrogén és nagy-tisztaságú hélium, laboratóriumi elemzésekben, lézertechnológiában és más területeken használatosak.
Szabványos gázok: Meghatározott arányban kevert gázok, amelyeket műszerek kalibrálására vagy környezeti ellenőrzésre használnak, mint például szén-monoxidot és kén-dioxidot tartalmazó standard keverékek.