A nagy-tisztaságú nitrogént védő- és vivőgázként használják integrált áramkörök, félvezetők és vákuumelektronikai eszközök gyártása során; kémiai gőzleválasztásnál vivőgázként szolgál; a gázt folyékony diffúziós forrásokban szállítja; és védőgázként működik a magas hőmérsékletű diffúziós kemencékben{1}}.
A nagy-tisztaságú nitrogént gázként használják kiszorításra, szárításra, tárolásra és szállításra olyan folyamatokban, mint az epitaxia, a fotolitográfia, a tisztítás és a párologtatás. A katódsugárcső gyártása során legalább 99,99%-os nitrogéntisztaság szükséges. Az űrtechnológiában a folyékony hidrogén-utántöltő rendszereket először nagy-tisztaságú nitrogénnel, majd nagy-tisztaságú héliummal kell öblíteni.
2025 decemberében az Állami Piacszabályozási Hivatal jóváhagyta és kiadta a nagy-tisztaságú nitrogénre vonatkozó nemzeti szabványanyagot, amelyet olyan kulcsfontosságú folyamatokban használnak, mint a félvezető eszközök gyártása során a tisztítás, maratás és leválasztás, valamint olyan eljárásokban, mint a fotolitográfia, ionbeültetés és oxidáció az integrált áramkörök gyártásában.